%0 Journal Article %T РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ В РЕАКТОРЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ %A Сенотова, С.А. %K реактор получения поликристаллического кремния, распределение температуры, уравнение Лапласа, метод сеток, таблица цветов. %J Вестник Ангарского Государственного Технического Университета %D 2020 %N 1 %P 3 %I ФГБОУ ВО "Ангарский государственный технический университет"