TY JOUR TI РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ В РЕАКТОРЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ KW реактор получения поликристаллического кремния KW распределение температуры KW уравнение Лапласа KW метод сеток KW таблица цветов. JO Вестник Ангарского Государственного Технического Университета AU Сенотова, С.А. PY 2020 IS 1 PB ФГБОУ ВО "Ангарский государственный технический университет"