%0 Journal Article %T АСИМПТОТИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ ТЕМПЕРАТУРНОГО РЕЖИМА В ПРОЦЕССЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ %A Сенотова, С.А. %K процесс получения поликристаллического кремния, стационарное движение, асимптотическая устойчивость %J современные технологии и научно-технический прогресс %D 2024 %N 2024 %P 1 %I ФГБОУ ВО "Ангарский государственный технический университет"