TY  JOUR
TI  АСИМПТОТИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ ТЕМПЕРАТУРНОГО РЕЖИМА В ПРОЦЕССЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
KW  процесс получения поликристаллического кремния
KW  стационарное движение
KW  асимптотическая устойчивость
JO  современные технологии и научно-технический прогресс
AU  Сенотова, С.А.
PY  2024
IS  2024
PB  ФГБОУ ВО "Ангарский государственный технический университет"