00846naa#a2200169#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200023200094210014000326215001000466608004500476675007100521700006200592856002200654RU\\bibl\8209120240518084005.6##a2686-9896##a20240422b2024####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aАСИМПТОТИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ ТЕМПЕРАТУРНОГО РЕЖИМА В ПРОЦЕССЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯeЖурнальная статья1#aАнгарскcФГБОУ ВО "Ангарский государственный технический университет"d2024##a1 с.##aЖурнальная статья2local##aМеханические колебания. Акустика. 534#1aСенотоваgСветлана Анатольевна4#aangtu.editorum.ru