00846naa#a2200169#i#450# RU\\bibl\82091 20240518091029.6 2686-9896 20240422b2024####ek#y0rusy0150####ca RU АСИМПТОТИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ ТЕМПЕРАТУРНОГО РЕЖИМА В ПРОЦЕССЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ Журнальная статья Ангарск ФГБОУ ВО "Ангарский государственный технический университет" 2024 1 с. Журнальная статья local Механические колебания. Акустика. 534 Сенотова Светлана Анатольевна angtu.editorum.ru